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8寸勻膠機(jī)用途：
勻膠機(jī)可以將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜，主要應(yīng)用于光刻膠旋涂、生物培養(yǎng)基制作、溶膠凝膠法制作高分子薄膜等領(lǐng)域
8寸勻膠機(jī)技術(shù)參數(shù)：
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供電電源 |
AC220V, 50Hz |
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樣品尺寸 |
*大直徑 8" (~200mm) |
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腔體材質(zhì) |
不銹鋼 |
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上蓋（特殊要求） |
數(shù)量：2個（其中1個備用，只是蓋子，不含其它） 石英材質(zhì), 便于觀察旋涂狀態(tài) |
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轉(zhuǎn)速 |
0~8000rpm 可調(diào) |
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加速度 |
100~5000rpm/s |
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速度分辨率 |
1rpm |
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操作模式 |
觸屏控制 |
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注射泵裝置 |
6通道獨(dú)立控制注射泵，但注射泵的控制軟件和勻膠機(jī)兼容 適用注射器規(guī)格：1ml - 60ml *大行程：90mm 線速度范圍：7.94um/min-79.4mm/min 行程控制精度：誤差≤±0.5%（行程≥*大行程的30%） 額定線性推力：>90N |
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滴液裝置（特殊要求） |
l 自動和可編程滴液 l 六個獨(dú)立注射器和滴液孔，無交叉污染 l 注射器的容量： 5ml到更高 l 其中2 條分配線需要**控制：可重復(fù)的分配量，每次*小分配量：50ul±5ul，這兩條線是用于甲苯溶液。 其他4條線的**控制要求稍低，*小分配量：500ul±50ul，用于辛烷或乙腈溶液 l 管子和注射器需要對溶劑甲苯、辛烷、乙腈具有很強(qiáng)的耐受性 l 管子和注射器之間的所有連接都要連接良好，不能泄漏 |
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控制軟件（特殊要求） |
程序和存儲配方由步驟組成。 每個步驟至少具有以下可配置參數(shù)：時間、旋轉(zhuǎn)速度、斜率、6條分配線中的每條的分配量和6條分配線中的每條的分配速度。 配方允許循環(huán)步驟的子集.. 控制軟件配方的典型示例： 步驟1：注液泵 1 分配 50ul 溶劑 步驟2：立刻，旋涂機(jī)開始以 3000 rpm 旋轉(zhuǎn) 30 秒并停止 步驟3：注液泵 2 分配 200ul 溶劑 步驟4：30 秒后，旋涂機(jī)開始以 3000 rpm 的速度旋轉(zhuǎn) 步驟5：10 秒后，注液泵 3 分配 1ml 溶劑 步驟6：40秒后，旋涂機(jī)停止 步驟7：重復(fù)10 次 步驟 1 至 6 |
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吸盤 |
4片 (鋁合金，直徑 10mm, 25mm, 55mm 和 150mm) |
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真空泵 |
無油泵 |
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泵抽速 |
50 L/min |
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勻膠機(jī)尺寸 |
~290mm*365mm*300mm |
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勻膠機(jī)凈重 |
~20kg |
