500W RF 500W DC三靶磁控濺射鍍膜儀是我公司自主研發(fā)的一款高性價(jià)比磁控濺射鍍膜設(shè)備，具有標(biāo)準(zhǔn)化、模塊化、可定制化的特點(diǎn)。磁控靶有1英寸2英寸可以選擇，客戶可以根據(jù)所鍍基板的大小自主選購(gòu)；所配電源為500W直流電源和500W射頻電源，直流電源可用于金屬薄膜的制備，射頻電源可用于非金屬膜的制備，三個(gè)靶可以滿足多層或者多次鍍膜的需要。若客戶有其他鍍膜需要，可以定制其他射頻電源和脈沖電源，各型電源均有300W到1000W多種規(guī)格可選。

鍍膜儀配有兩路高精度質(zhì)量流量計(jì)，客戶若另有需求可以定制至多四路質(zhì)量流量計(jì)的氣路，以滿足復(fù)雜的氣體環(huán)境構(gòu)建需求；儀器標(biāo)配先進(jìn)的渦輪分子泵組，極限真空可達(dá)1.0E-5Pa，同時(shí)另有其他類型的分子泵可供選購(gòu)。分子泵的氣路由多個(gè)電磁閥控制，可以實(shí)現(xiàn)在不關(guān)泵的情況下打開(kāi)腔體取出樣品，大大提高了您的工作效率。本產(chǎn)品可以選配一體機(jī)工控電腦對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行控制，在電腦程序上可以實(shí)現(xiàn)真空泵組的控制、濺射電源的控制等絕大多數(shù)功能，可以進(jìn)一步提高您的實(shí)驗(yàn)效率。

應(yīng)用領(lǐng)域

該設(shè)備可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。該三靶磁控濺射鍍膜儀與同類設(shè)備相比，其不僅應(yīng)用廣泛，且具有體積小便于操作的優(yōu)點(diǎn)，是一款實(shí)驗(yàn)室制備材料薄膜的理想設(shè)備。

名稱	三靶磁控濺射鍍膜儀(500W RF&500W DC)
特點(diǎn)	鍍膜速率高，樣品溫升低，典型的高速低溫濺射 觸控屏控制，內(nèi)置一鍵式鍍膜程序，操作簡(jiǎn)單易上手
技術(shù)參數(shù)	供電電壓： AC220V，50Hz 整機(jī)功率 ：4KW 載樣臺(tái)參數(shù)： 尺寸 φ140mm； 加熱溫度 *高500℃； 控溫精度 ±1℃； 轉(zhuǎn)速 1-20rpm可調(diào) 磁控濺射頭：2” x3 （1”,2”可選）； 水冷（水冷機(jī)規(guī)格 10L/min流速的循環(huán)水冷機(jī)） 真空腔體 ：尺寸 φ300mm X 300mm H，不銹鋼； 觀察窗口 ：φ100mm； 開(kāi)啟方式： 上頂開(kāi)式，便于更換靶材 質(zhì)量流量計(jì)： 2路分別通Ar，N2； 量程均為0-100sccm（可根據(jù)客戶需要定制多路氣路） 真空系統(tǒng) ：產(chǎn)品型號(hào) CY-GZK103-A                   抽氣接口 CF160，排氣接口KF40 分子泵 CY-600 前極泵： 旋片泵                   真空測(cè)量：復(fù)合真空計(jì) 極限真空：1.0E-5Pa 供電電源 AC;220V 50/60Hz 抽氣速率：分子泵：600L/S，旋片泵：1.1L/S  綜合抽氣性能：20分鐘真空度可達(dá)： 1.0E-3Pa 濺射電源 ：直流電源500W 射頻電源500W
規(guī)格	尺寸：600mm X 650mm X 1280mm；重量：300kg