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本產(chǎn)品為桌面型小型蒸發(fā)鍍膜儀，設(shè)備安裝有鎢絲籃蒸發(fā)源，可提供*大100A的鍍膜電流，*大蒸發(fā)溫度可達1800℃，能夠滿足各種常見金屬的蒸鍍及部分非金屬蒸鍍。真空腔體采用不不銹鋼制作，配合分子泵組可達到5x10-5Pa極限真空，能夠滿足絕大部分材料蒸發(fā)所需的真空環(huán)境；同時設(shè)備采用高罐體及電動升降樣品臺的設(shè)計，能夠滿足不同樣品和膜料的蒸鍍要求；升降機構(gòu)采用焊接波紋管密封，在保證密封性的情況下實現(xiàn)了樣品臺的升降動作。樣品臺的升降及旋轉(zhuǎn)均可通過屏幕控制，操作簡單直觀，十分適合實驗室使用。
小型蒸發(fā)鍍膜儀技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品名稱
桌面型電動升降樣品臺蒸發(fā)鍍膜儀
產(chǎn)品型號
CY-EVP195S-1S-LT（T高罐體tall；L升降 lift）
安裝條件
1、使用環(huán)境溫度 25℃±15℃，濕度 55%Rh±10%Rh；
2、設(shè)備供電：AC220V，50Hz，必須有良好接地；
3、額定功率：1200w；
4、設(shè)備用氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣清洗，需客戶自備氬氣，純
度 ≥99.99%；
5、擺放工作臺尺寸要求 600mm×600mm×700mm，承重 70kg 以上；
6、擺放位置要求通風(fēng)。
技術(shù)參數(shù)
1、 蒸發(fā)源數(shù)量：1個，配擋板；
2、 蒸發(fā)源電壓：10V
3、 蒸發(fā)電流 0～100A 連續(xù)可調(diào)
4、 配 1個鎢舟、1個鎢絲籃；
5、 不銹鋼電動升降樣品臺,直徑為70mm，旋轉(zhuǎn)速度1~20rpm連續(xù)可調(diào)；
6、 樣品與蒸發(fā)源的距離為 190~300mm連續(xù)可調(diào)，真空狀態(tài)下也可升降調(diào)節(jié)
；
7、 真空腔體為不銹鋼腔體其外徑為195mm，內(nèi)徑為185mm，高度為350mm；
8、 上蓋采用ISO法蘭密封，便于拆卸檢查；腔體設(shè)有前開門，并配有φ60mm的帶擋板石英觀察窗；
9、 真空腔體抽氣接口為 KF40；
10、 進氣接口為 1/4 英寸雙卡套接頭，默認配不銹鋼微調(diào)閥以調(diào)節(jié)進氣量；
11、 顯示屏為7英寸彩色觸摸屏；
12、 可調(diào)節(jié)蒸發(fā)電流，可設(shè)置蒸發(fā)**電流值、**真空值；
13、 **保護：過流、真空過低自動切斷蒸發(fā)電流；
14、 極限真空：5x10-5Pa(搭配分子泵)；
15、 真空測量為電阻規(guī)真空計，其量程為：1～105Pa
注意事項
1、為充分發(fā)揮腔體的真空性能，建議搭配分子泵組使用。
可選配件
厚監(jiān)測儀
1、膜厚分辨率：0.0136?（鋁）
2、膜厚準確度：±0.5%，取決于過程條件，特別是傳感器的位置，
材料應(yīng)力，溫度和密度
3、測量速度：100ms-1s/次，可設(shè)置測量范圍：500000?（鋁）
4、標準傳感器晶體：6MHz
5、適用晶片頻率：6MHz 適用晶片尺寸：Φ14mm 安裝法蘭：CF35
其他配件
1、 鎢舟、鎢絲籃；
2、 有機蒸發(fā)源（含石英舟和鎢絲發(fā)熱源）；
3、 蒸發(fā)源數(shù)量可選1~2組；
4、 CY-CZK103系列高性能分子泵組（含復(fù)合真空計，測量范圍
10-5Pa~105Pa）；
CY-GZK60系列小型分子泵組（含復(fù)合真空計，測量范圍10-5Pa~102Pa）
VRD-4雙極旋片真空泵；
5、 CW3000循環(huán)水冷機（風(fēng)冷，流量10L/min）
6、 KF40真空波紋管；長度可選0.5m、1m、1.5m；KF25卡箍支架
7、 膜厚儀晶振片；
